NanoSensors—2D200横向(XY)校正标样
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产品描述

     标准(2D200)用于一个非常精确的量X-Y-扫描机制的校准。该标准为间距为200nm的二维的横向的阵列,倒金字塔晶格形状,蚀刻在硅晶片上。

     PTB校准证书(德国联邦物理技术),只在特殊的要求提供。
     NanoSnesors与PTB的合同可以定制。

特点:

     - 200纳米间距

     - 高精度

产品规格

芯片

基片尺寸

5 x 7 mm²

有效位置

100 x 100 µm²

有效位置位于芯片的中心,有辅助定位结构包围,倒金字塔的晶格组成有效位置。

晶格

间距

100 nm

金字塔的位置精度

10 nm

间距精度(10x10 µm² scan)

0.1%

间距精度(100x100 µm² scan)

±0.01%

金字塔结构

正方形金字塔边长

approx. 50 nm

侧壁角度(与芯片表面)

54.7°

侧壁角度精度

0.5

金字塔深度

approx. 35 nm



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